碳化硅机械手臂
CORESIC® SP碳化硅机械手臂经等静压工艺成型、高温烧结而成。可根据用户设计图纸要求进行外形尺寸，厚度尺寸和形状进行精加工，以满足用户的具体使用要求。
性能优势
- 具有精确的尺寸和热稳定性
- 高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形；
- 具有光滑的表面，耐磨性佳，从而安全地处理晶片而不产生颗粒污染。
- CORESIC® SP碳化硅电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；可以防止静电在晶片表面积聚。
- 良好的导热性、低膨胀系数。
规格型号
- 可以根据客户的图纸，加工不同形状和尺寸的手臂。
典型应用
- 用于半导体各制程中晶圆的传输。
