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碳化硅炉管
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产品介绍

碳化硅炉管

三责新材碳化硅炉管，采用喷雾造粒碳化硅粉体，经3D打印工艺成型和反应烧结而成。再经喷砂处理后，按照图纸要求进行精加工，表面进行CVD碳化硅涂层，以满足使用要求。

 

性能优势

  • 超高纯度，基材杂质含量＜300PPM，CVD碳化硅涂层后表面杂质含量小于5PPM；
  • 最高使用温度可达1300℃；
  • 低热膨胀；
  • 极强的耐磨性；
     

 

规格型号

可根据客户图纸制作

 

典型应用

通常用于半导体氧化扩散炉，LPCVD和退火炉等设备。

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