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碳化硅凸点吸盘


三责新材碳化硅凸点吸盘,采用喷雾造粒碳化硅粉体,经等静压工艺成型和高温烧结而成。按照图纸要求精加工,配以喷砂工艺进行凸点制作,以满足使用要求。

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碳化硅凸点吸盘

三责新材碳化硅凸点吸盘,采用喷雾造粒碳化硅粉体,经等静压工艺成型和高温烧结而成。按照图纸要求精加工,配以喷砂工艺进行凸点制作,以满足使用要求。

 

性能优势

  • 高精度:平面度在0.3- 0.5μm;
  • 超轻重量;
  • 高刚度;
  • 低热膨胀;
  • 极强的耐磨性。

 

规格型号

可根据客户图纸制作

 

典型应用

芯片制造中的光刻工艺、适合尼康、佳能、ASML等机台。

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